洁净室FFU高效过滤器的DOP检漏怎么操作?

2019-08-02 09:04:19 admin
高效过滤器上风侧发 DOP 检漏时,在FFU高效过滤器的上风侧必须设有 DOP的导入装置及浓度检测管。这两个管子也可以用来检测过滤器的阻力。

  在检测中,如果室内干扰因素太多,为排除干扰,可在风口出口加隔离罩,在罩内进行检测,这样检测的数据较为准确。

  尤其要注意的是,在过滤器和安装框架之间的检漏,可以沿安装框架检漏,也可以送风口箱体断面上检漏,但要排除卷吸气流的干扰,要避免箱体上的积灰干扰,尤其是采样口不能接触高效风口箱体或过滤器的框架。

  在有速度的气流中采样,采样速度应等于气流速度,否则采样浓度将大于或小于真实浓度,即气流速度大于采样速度,采样浓度将大于真实浓度,反之,气流速度小于采样速度,采样浓度将小于真实浓度。

  假定高效过滤器下实际断面风速为 0.45 m/s,圆形取样口直径Ds 的计算:

  V×1/4×πDs =Fa 2

  Fa —— 仪器采样量,28.3 L/min=472 cm3/s

  V —— 过滤器面风速 0.45 m/s

  经计算 Ds=36. 5 mm

  实际上仪器的取样口直径为 35 mm 或正方形 30×30 mm,当然取样口也可以是长方形的,经计算此时的采样速度为 0.49 ~0.52 m/s,可以认为是等速采样。

  根据国际标准组织 (ISO) 关于洁净室及相关受控环境的测试和测试方法 (ISO14644-3) 中公式计算:Sr ≤Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/Np式中:Sr -探管扫描速率 cm/s;

  Cc -被测过滤器上风向气溶胶浓度 cm-3 (50粒子 /cm3);

  Ps -被测过滤器最易穿透粒径最大允许整体穿透率;

  PL -被测过滤器的最大允许泄漏;

  K -一个因数,表示 PL 可能比 Ps 大多少倍;

  Dp -平行于扫描方向的探管尺寸 (cm),本文使用圆形采样管,直径 35 mm;

  Fs - 离 散 粒 子 计 数 器 的 标 准 样 品 流 量,

  Fs=472 cm3/s (28.3 L/min);

  Np -预期量,表现出泄漏特征的粒子计数值;

  用下式计算:

  Np=Cc×Ps×K×Fs

  Np=Cc×Ps×K×Fs=50×0.005%×10×472=11.8 个,代入 Sr式得Sr=Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np

  =50×0.005%×10×3.5×472/11.8= 3.5(cm/s)

  每个测点实际获得时间 Ts=Dp/Sr=1 s

  所以,采样口的扫描速率是和上游粒子浓度穿透率、K值、采样口的口径、采样流量有着密切的关系。特别需要指出的是, 如采用 28.3 L/min 的粒子计数器和 2.83 L/min的粒子计数器,他们的扫描速率可以相差十倍,也就是讲,每检测一个过滤器的时间也相差十倍。

  规范要求扫描速率为 5 ~ 20mm/s (其实这个速率是应该根据具体情况可以计算调整的,一般建议采用 28.3 L/min 的粒子计算器,扫描速率在 30 ~ 5mm/s 左右)。

  规范第5.4.1条指出“对于高效过滤器,应不大于过滤器出厂合格透过率的 2 倍,对于超高效过滤器,应不大于出厂合格透过率的 3倍。”而根据条文说明的第四节评定标准则相反,高效过滤器的透过率是 3 倍,而超高效过滤器的是 2倍。从提供的数据来看,应该是以条文为准。

  如果上游浓度为 3.5×104 粒子 /L,0.5μm的高效过滤器效率是99.99%,下游浓度为 3.5×104×0.01%×3=10.5。如果粒子计算器检测≤ 10应为合格,否则应进行修复,修补总面积不能超过过滤器截面的 5%,每个修补点修补的最大长度必须在 40mm以下。

  本文用 ISO 14644-3的检漏方法及有关计算。如上述,Np 是表泄漏特征的粒子数,在 Np=11.8 时,可接受观测计数 Ca=7个。在检漏中,尘埃粒子读数C ≤ Ca时,认为扫描区域无泄露,可继续扫描,否则,要做静态测定。静态测定时,采样头在测点的滞留时间设定为 10秒钟,此时测得的最大粒子数为Npa:Npa=Cc×PL×FS×K=50×0.005%×10×472×10=118

  这是采样流量为 472 cm3/s,采样时间为 10 s时的读数值,大于此数可判断为泄漏。

  如果系统总风量不大,DOP 发尘可直接送入总风管。如果 DOP发尘的总量不够,达不到预计的浓度要求,可将 DOP直接发入高效送风口的静压箱。需要指出的是,上游的气溶胶浓度需要检测。如果稳定后,可对每个过滤器进行泄漏检测。如果上游的气溶胶浓度太高,粒子 计数器无法检测,可通过稀释的方法来进行测量。


  


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