洁净房需求和工作范围

2023-03-24 20:54:26 admin
洁净房在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。洁净房所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、更全面。紊流主要决定于雷诺数,洁净房也就是主要受流速的影响,但是如果采用一个高效过滤器顶送的送风形式,则即使流速极低,也要产生上述各种结果,这就因为它是一个突变流和非均匀流。因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混,而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。

具体工艺对温度的要求以后还要列举,洁净房但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,洁净房特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。


  


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深圳市蓝思净化科技有限公司,致力于净化行业十余年,是一家集空气过滤器和净化设备研发,生产与销售的高科技企业,产品涵盖各行业所需的空气净化设备及服务,包括对颗粒物(PM10,PM2.5,PM0.1)、病菌、气态分子污染物(TVOC, 酸性,碱性气体)等的评估和检测,并提供全面有效的空气净化解决方案。公司从国外引进目前世界最先进的无隔板过滤器生产线及专有技术。可按GB/T 14295-2008国家标准,GB/T 13554-2008国家标准及国家GMP规范要求为生物制药。。。。。

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